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单晶硅棒
释义
单晶硅棒
信息科学卷
单晶硅棒
生产单晶硅片的原材料。制法通常是先制得多晶硅或无定形硅,然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体材料
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更新时间:2026/9/5 17:53:39