出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 字词 | 纳米压印 |
| 释义 | 纳米压印 纳米压印 将模具上的纳米尺度图形以机械力直接转移到衬底上，从而达到量产化目的的光刻技术。由华裔科学家周郁于1995年提出。相较于传统的光刻技术，具有加工原理简单、分辨率高、生产效率高、成本低等优点。应用于半导体工艺、光学等领域。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 |
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