出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体测试技术
字词 | 电迁移 |
释义 | 电迁移 电迁移 导电离子在电场作用下发生迁移的现象。会造成元件或电路的失效。如当器件工作时,金属互连线内有一定电流通过,金属离子会沿导体产生质量的输运,即发生电迁移,其结果会使导体的某些部位产生空洞或晶须(小丘),造成器件失效。 出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体测试技术 |
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