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字词 可动离子沾污
释义
可动离子沾污
可动离子沾污  半导体材料中高度活动性的金属离子。当可动离子沾污引入硅片中时,在整个硅片中移动,严重损害器件电学性能和长期可靠性。未经处理过的化学品中的钠是典型的、最为普遍的可动离子沾污之一,人充当了其运送者。人体以液态形式包含了高浓度的钠(例如唾液、眼泪、汗液等)。在硅片加工中,须严格控制钠沾污。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
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更新时间:2025/6/29 4:44:17