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反应溅射
释义
反应溅射
材料科学卷
反应溅射
在溅射过程中向腔体内不断地通入反应气体,使其与溅射粒子进行化学反应,生成化合物膜的溅射镀膜方法。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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更新时间:2025/6/29 2:02:54