“反应溅射”的意思、用法、组词造句及英语翻译-汉语字词典-修远网

字词	反应溅射
释义	反应溅射材料科学卷反应溅射　　在溅射过程中向腔体内不断地通入反应气体，使其与溅射粒子进行化学反应，生成化合物膜的溅射镀膜方法。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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