出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
字词 | 半导体级材料 |
释义 | 半导体级材料 半导体级材料 制造半导体用的超级纯净材料。纯度远高于一般工业用材料。用于制造元素半导体、化合物半导体的组元材料。在制备过程中为控制其电学性能而加入的掺杂源都需要超纯材料,诸如硅、锗、硒、磷、铟、锑、镓、铝、砷、锌、氧、氦、氢等。 出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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