出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 字词 | 化学放大胶 |
| 释义 | 化学放大胶 化学放大胶 光刻技术中的一种光学记录介质。一般包括三个部分：基质树脂、有机溶剂和酸性发生剂。经电子束曝光或光照后，吸收能量发生光分解，生成自由酸，发生酸催化反应，使曝光区域的基质树脂发生保护基团的去除反应或树脂与交联剂的交联反应，形成正性或负性潜影，在一定的溶剂中显影形成曝光图形。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 |
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