出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 字词 | 刻蚀 |
| 释义 | 刻蚀 刻蚀 通过溶液、反应离子或其他方式来除去未被光刻胶掩蔽的薄膜层，从而在薄膜层上得到与光刻胶上相同图形的工艺。在光刻工艺中，经过曝光和显影，在光刻胶上产生所需图形，然后通过刻蚀把图形精确地转移到光刻胶下面的薄膜上，制造出所需的薄层图案。通常分为干法刻蚀和湿法刻蚀两大类。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 |
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