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字词 低温磷化铟缓冲层
释义
低温磷化铟缓冲层
低温磷化铟缓冲层  磷化铟/砷化镓异质外延的方案之一。采用低温磷化铟作连接磷化铟和砷化镓失配晶格的缓冲层,不仅能有效释放砷化镓衬底与磷化铟外延层间的失配应力,避免选用第13-第15族三元系或四元系材料充当缓冲层而必须的组分精确控制,方案简单,而且缓冲层可以长得很薄。是磷化铟/砷化镓异质外延解决“异系异质兼容”矛盾、实现单片光电子集成的最有效途径之一。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 砷化镓和磷化铟基化合物半导体材料
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更新时间:2025/6/29 13:28:15