出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
字词 | 低介电常数材料 |
释义 | 低介电常数材料 低介电常数材料 应用于集成电路互连的材料。介电常数在1~3之间。热稳定性好,适于工艺加工。主要包括掺氟的石英玻璃、多孔物质、掺氟的聚合物、无机有机混合物、多孔聚合物等。 出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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