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中频交流磁控溅射
释义
中频交流磁控溅射
材料科学卷
中频交流磁控溅射
采用中频(40千赫)电源的磁控溅射镀膜方法。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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更新时间:2025/12/1 18:27:30