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黏附层
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黏附层
信息科学卷
黏附层
半导体工艺中为了增强薄膜与晶圆的附着能力而附加的沉积层。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2026/9/15 7:34:43