出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
| 字词 | 面缺陷 |
| 释义 | 面缺陷 面缺陷 亦称“二维缺陷”。在三维空间中一个方向上的尺寸和影响范围较小。另两个方向上的尺寸和影响范围较大的缺陷。主要有层错、畴界、双晶接合面、小角晶界等。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术 面缺陷 见“晶体缺陷”。 出处：材料科学卷 • 总类 • 材料科学基础 |
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