出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 字词 | 铜互连 |
| 释义 | 铜互连 铜互连 在半导体集成电路的制作中，采用铜金属材料取代传统铝金属材料形成布线，把互相隔离的元件连接成所需电路的工艺。可提高芯片集成度、时钟频率，降低消耗的能量。另外，在器件密度进一步增加的情况下，还会出现由电子迁移引发的可靠性问题，铜在这方面比铝有明显的优越性。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 |
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