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字词 钽基介电薄膜
释义
钽基介电薄膜
钽基介电薄膜  用溅射法在基片上沉积以金属钽为基的介电薄膜。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 有色金属材料
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更新时间:2025/6/29 16:35:10