出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
字词 | 金属硅化物 |
释义 | 金属硅化物 金属硅化物 金属与硅生成的化合物。常分成两大类:(1) 难熔金属硅化物,指周期表4、5、6族元素的硅化物,如硅化钛、硅化锆、硅化钽、硅化钨等;(2) 贵金属和近贵金属硅化物,如硅化钯、硅化铂、硅化钴等。其共同特点是:熔点高(大都在1500℃以上),最低共熔温度高(大都在1000℃以上)。电阻率低,硬度高。在大规模集成电路中用作金属栅、肖特基接触、欧姆接触等。 出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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