出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 字词 | 金刚石薄膜上硅材料 |
| 释义 | 金刚石薄膜上硅材料 金刚石薄膜上硅材料 英语缩写SOD。以多晶金刚石薄膜为绝缘埋层的绝缘体上硅材料。由于常规绝缘体上硅材料的二氧化硅埋层导热性能较差，而金刚石的热导率约是二氧化硅的1000倍，是很好的热导材料。因此采用金刚石或类金刚石薄膜作为绝缘埋层的材料，以克服绝缘体上硅的自加热效应。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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