出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 字词 | 通孔 |
| 释义 | 通孔 通孔 在两层互连金属线之间的层间膜内刻蚀出的一系列连接孔。孔内填入用于两层金属线间的互连金属，通过这些金属线把成千上万的晶体管连成具有一定功能的器件回路。随着半导体制造技术发展到更先进的深亚微米技术，通孔的尺寸也随着器件设计尺寸逐步缩小。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 |
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