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超高真空化学气相沉积
释义
超高真空化学气相沉积
材料科学卷
超高真空化学气相沉积
在低于10
-6
帕的非常低压环境下化学气相沉积的薄膜生长方法。其装置主要包括:不锈钢生长室、靶台及加热系统、预真空室及样品传送系统、生长室和预真空室各自配有真空系统、气路系统、反射高能电子衍射(RHEED)及真空检测系统。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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更新时间:2026/4/17 1:30:49