出处：材料科学卷 • 金属材料 • 有色金属材料
| 字词 | 贵金属靶材 |
| 释义 | 贵金属靶材 贵金属靶材 半导体元件、记录媒体、显示元件等的配线和薄膜形成等方面使用的贵金属及其合金的溅射靶材的总称。金、铂、钯、银靶材用于集成电路和大规模集成电路，钴铬铂系、钴铂系、钴钯系等合金用于制备反射膜。贵金属靶材要控制杂质，气体含量，晶粒大小和取向，一般采用精炼、熔化、锻造、压延加工或粉末冶金工艺制造。 出处：材料科学卷 • 金属材料 • 有色金属材料 |
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