出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 字词 | 设计规则 |
| 释义 | 设计规则 设计规则 考虑器件在正常工作的条件下，根据实际工艺水平（包括光刻特性、刻蚀能力、对准容差等）和成品率要求，给出的一组同一工艺层及不同工艺层之间几何尺寸的限制。主要包括线宽、间距、覆盖、露头、凹口、面积等规则，分别给出它们的最小值，以防止掩模图形的断裂、连接和一些不良物理效应的出现。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 |
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