出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 字词 | 薄膜应力 |
| 释义 | 薄膜应力 薄膜应力 沿薄膜截面厚度均匀分布的应力。分为压应力和张应力。前者的薄膜产生伸张的力；后者的薄膜产生收缩的力。如高温下进行薄膜沉积，温度降到常温时，由于薄膜和基底的热膨胀系数不同，必然导致薄膜相对于基底的形变能，此时衬底会因薄膜应力的存在而发生弯曲。除了形变能外，薄膜亦存在内应力，产生原因主要是薄膜材料内部的晶格缺陷，或非晶内部的畸变能。这些应力存在于薄膜材料中，块状材料中亦存在。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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