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缓冲层技术
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缓冲层技术
材料科学卷
缓冲层技术
半导体材料制备中缓冲层的控制技术。需解决异质衬底上生长半导体时晶格失配、异质扩散和极性问题。缓冲层工艺控制得好在一定程度上也可缓解薄膜中的应力。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 宽带隙半导体材料
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更新时间:2025/6/30 9:47:32