出处：信息科学卷 • 微电子 • 集成电路技术
| 字词 | 纳米微机电系统 |
| 释义 | 纳米微机电系统 纳米微机电系统 在系统特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型机电一体的系统。是20世纪90年代末提出的一个概念。特征尺寸在亚纳米到数百纳米，以纳米级结构所产生的新效应（量子效应、界面效应和纳米尺度效应）为工作特征。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 集成电路技术 |
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