出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
| 字词 | 等离子体化学气相沉积 |
| 释义 | 等离子体化学气相沉积 等离子体化学气相沉积 除热能外，还通过辉光放电产生等离子体的化学气相沉积方法。其中高能电子与反应气体产生非弹性碰撞，并使之电离或激发，从而降低化合物分解或化合所需的能量，显著地降低反应温度，可在500～600℃以下沉积成膜。 出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性 |
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