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离子溅射
释义
离子溅射
材料科学卷
离子溅射
一种物理气相沉积的方法。在真空室内通入(0.1~1.0)×10
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帕的惰性气体(如氩),使之在高压下辉光放电,气体离子在强电场作用下轰击膜料制成的阴极靶,使表面的原子被溅射出来,沉积在基体上成膜。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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更新时间:2025/6/30 8:34:27