出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
字词 | 磁控直拉硅单晶 |
释义 | 磁控直拉硅单晶 磁控直拉硅单晶 熔体在外加磁场作用下拉制出的硅单晶。具有氧含量可控,杂质条纹轻,微缺陷密度低,晶体参数得到改善等特性。半导体熔体都是良导体,对熔体施加磁场,熔体会受到与其运动方向相反的洛伦兹力作用,可阻碍熔体中的对流,这相当于增大了熔体中的黏滞性。采用磁控直拉技术可减少熔体中的温度梯度,提高晶体中杂质分布的均匀性,提高晶体的径向电阻分布均匀性,降低单晶中的缺陷密度,提高晶体的纯度。 出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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