出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 字词 | 硅基半导体材料 |
| 释义 | 硅基半导体材料 硅基半导体材料 以硅材料为基础发展起来的半导体材料。包括绝缘体上的硅材料、锗硅材料、多孔硅、微晶硅，以及以硅为基底异质外延其他化合物半导体材料等。随着超大规模集成电路设计线宽向纳米尺寸过渡，对半导体材料的性能和参数提出了更加严格的要求，主要用于纳米集成电路和微电子、光电子器件等领域。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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