出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
字词 | 短沟道效应 |
释义 | 短沟道效应 短沟道效应 金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)的沟道长度减小到一定程度后出现的一系列物理效应。包括:阈值电压随沟道长度降低而降低;载流子速度饱和效应;影响器件寿命的热载流子效应等。 出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术 |
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