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字词 真空蒸发法
释义
真空蒸发法
真空蒸发法  在真空状态下将加热蒸发的材料沉积在基片上的工艺。是历史最早、使用最普遍的薄膜制备方法。制备工艺简单,制备薄膜范围广,广泛用于半导体发光膜的制备中。其设备一般有三部分组成:(1) 真空室;(2) 蒸发源或蒸发加热装置;(3) 放置基片及给基片加热装置。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 发光和显示材料
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更新时间:2025/6/29 7:58:12