出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 发光和显示材料
字词 | 真空蒸发法 |
释义 | 真空蒸发法 真空蒸发法 在真空状态下将加热蒸发的材料沉积在基片上的工艺。是历史最早、使用最普遍的薄膜制备方法。制备工艺简单,制备薄膜范围广,广泛用于半导体发光膜的制备中。其设备一般有三部分组成:(1) 真空室;(2) 蒸发源或蒸发加热装置;(3) 放置基片及给基片加热装置。 出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 发光和显示材料 |
随便看 |
|
修远网汉语字词典收录72225条汉语词条,基本涵盖了全部常见汉语字词的翻译、注释及用法释义,是语文学习的有利工具。