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直流等离子体化学气相沉积
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直流等离子体化学气相沉积
材料科学卷
直流等离子体化学气相沉积
利用直流等离子体激活化学反应进行的化学气相沉积的方法。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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更新时间:2026/4/17 3:03:19