出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体测试技术
| 字词 | 特征尺寸 |
| 释义 | 特征尺寸 特征尺寸 在微电子学中，通常指集成电路中半导体器件的最小尺寸。是衡量集成电路设计和制造水平的重要尺度，特征尺寸越小，芯片的集成度越高，速度越快，性能越好。常说的130纳米制程、90纳米制程指的就是计算机中央处理器的特征尺寸。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体测试技术 |
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