出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
字词 | 热载流子效应 |
释义 | 热载流子效应 热载流子效应 随着半导体器件尺寸的减小,导致漏极附近的电场强度迅速增加,使流经漏极的载流子获得较高能量成为热载流子,越过二氧化硅/硅间的势垒注入栅介质中,从而引起器件不可靠,降低其工作寿命的现象。 出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术 |
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