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字词 热载流子效应
释义
热载流子效应
热载流子效应  随着半导体器件尺寸的减小,导致漏极附近的电场强度迅速增加,使流经漏极的载流子获得较高能量成为热载流子,越过二氧化硅/硅间的势垒注入栅介质中,从而引起器件不可靠,降低其工作寿命的现象。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
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更新时间:2025/6/30 15:05:43