出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
| 字词 | 溅射靶材 |
| 释义 | 溅射靶材 溅射靶材 溅射仪的关键部件之一。一般为纯金属、合金或其他导电材料，其成分和所沉积薄膜的成分很接近。通过更换溅射靶材，可在同一溅射仪上制备不同成分的薄膜。如果溅射仪配备射频电源，也可采用不导电材料作溅射靶材。应有好的导热性能并得到良好的冷却。 出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性 |
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