出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 字词 | 湿法刻蚀 |
| 释义 | 湿法刻蚀 湿法刻蚀 将刻蚀材料浸泡在一定的化学试剂或试剂溶液中，使未被抗蚀剂掩蔽的那一部分薄膜表面与试剂发生化学反应而被去除的工艺。例如，用一种含有氢氟酸的溶液刻蚀二氧化硅薄膜，用磷酸刻蚀铝薄膜等。一般用于工艺流程前面的晶圆片准备、清洗等不涉及图形的环节。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 |
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