出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
字词 | 混合取向绝缘体上硅材料 |
释义 | 混合取向绝缘体上硅材料 混合取向绝缘体上硅材料 同一表面上具有两个取向的绝缘体上硅材料。通过把一个(110)硅片转移到一个(100)支承硅片上;或者把一个(100)硅片转移到一个(110)支承硅片上获得嵌入在同一个表面的具有(110)和(100)取向的混合晶片。采用(110)和(100)晶体取向的部分分别制备p-沟道和n-沟道衬底,借此提高器件的性能。 出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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