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深宽比
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深宽比
信息科学卷
深宽比
硅片上通孔深度与宽度的比值。芯片上的半导体元件的密度越来越大,需要通过提高刻蚀工艺,获得高深宽比结构。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2026/6/1 9:15:35