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字词 氧化层错
释义
氧化层错
氧化层错  晶体表面存在机械损伤、杂质沾污和微缺陷(如氧沉淀)等时,在热氧化过程中其近表面层长大或转化的层错。硅热氧化层错是在硅器件热氧化工艺中产生的一种二次缺陷。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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更新时间:2025/6/29 20:07:52