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楔压键合
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楔压键合
信息科学卷
楔压键合
用楔形劈刀将热、压力、超声传给金属丝使其和焊盘金属的纯净表面接触,并最终形成焊接的工艺。焊接过程中不出现焊球。在该工艺中,金属丝穿过劈刀背面的通孔,与水平的被键合表面成 30°~60°。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2026/10/22 11:34:33