出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
| 字词 | 杂质点缺陷 |
| 释义 | 杂质点缺陷 杂质点缺陷 与基体原子不同的外部杂质进入晶体内部构成的一种点缺陷。分为间隙式和替位式两类。间隙式杂质原子会造成其附近的晶格畸变，整个晶格倾向膨胀。替位式杂质原子有两种情况：（1） 杂质原子半径比晶格原子半径大，晶格倾向于膨胀；（2） 杂质原子半径比晶格原子半径小，晶格倾向于收缩。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术 |
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