出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
| 字词 | 有源区 |
| 释义 | 有源区 有源区 硅片上做有源器件的区域（或者采用浅沟槽隔离等技术隔离开的区域）。主要针对金属-氧化物-半导体场效应晶体管（MOSFET）而言，不同掺杂可形成n型或p型有源区。分为源区和漏区（掺杂类型相同），在进行互连之前，两个有源区没有差别。另外，有后续杂质注入的地方通常也叫有源区。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术 |
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