出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 字词 | 改良西门子法多晶硅 |
| 释义 | 改良西门子法多晶硅 改良西门子法多晶硅 以改良后的西门子法多晶硅工艺制备的多晶硅材料。采用高压下合成、精馏和还原系统，提高反应气体配比，增加还原炉硅芯对数，以降低能耗和提高生产效率；以及采用干法尾气回收、氢化、或与气相白炭黑或有机硅产业联合生产，解决副产物的排放，改善环境污染和降低成本。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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