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| 字词 | 抛光液氧化剂 |
| 释义 | 抛光液氧化剂 抛光液氧化剂 能使被抛光表面氧化形成钝化层的试剂。对抛光后表面质量十分重要。当氧化剂过少时，机械作用过大，易在晶片表面形成划伤等缺陷；而氧化剂太多，可能导致表面化学势过高，进入腐蚀区，造成表面有腐蚀坑等缺陷。通过对氧化剂的筛选和浓度影响的研究，可控制抛光速率和抛光后表面质量，达到超精密无损抛光。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 信息储存材料 |
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