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扩散电阻
释义
扩散电阻
信息科学卷
扩散电阻
利用扩散工艺在硅片表面掺入三价或者五价元素,改变硅片的电阻率所形成的电阻。如在(含磷杂质)n型衬底的硅片上,注入硼离子,形成p型扩散电阻。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2025/12/1 21:32:32