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微缺陷
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微缺陷
信息科学卷
微缺陷
晶体中尺寸通常在微米或亚微米数量级范围内的缺陷。如堆垛层错、氧沉淀等。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
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更新时间:2025/12/2 8:19:49