出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 字词 | 平面化工艺 |
| 释义 | 平面化工艺 平面化工艺 在硅半导体芯片上，通过氧化、光刻、扩散、离子注入等一系列流程，制作出晶体管和集成电路的一种工艺。器件和电路都是在芯片表面一层附近处，整个芯片基本上是保持平坦的，制作出的晶体管称“平面晶体管”，故称相应的制作工艺为“平面化工艺”。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 |
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