出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
| 字词 | 层间介质 |
| 释义 | 层间介质 层间介质 器件中不同的金属层之间的电绝缘层。充当两层导电金属或者相邻金属线条之间的隔离膜。通常采用介电常数为3.9～4.0的二氧化硅材料。硅上有源器件和第一层金属层之间的电绝缘层，称“第一层层间介质”或“金属前绝缘层”。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术 |
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