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套刻
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套刻
信息科学卷
套刻
光刻工艺中利用标记对准曝光,进行器件结构制备的方式。用来保证掩模版上的图形与硅片上已经存在的图形之间的对准。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2026/7/17 12:24:57