出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 字词 | 大马士革工艺 |
| 释义 | 大马士革工艺 大马士革工艺 全称“大马士革镶嵌工艺”。先在介电层上蚀刻金属导线用的图膜，然后再填充金属以实现多层金属互连的一种工艺。因与古代大马士革工匠的嵌刻技术相似，故名。主要特点是不需要进行金属层的蚀刻。由于铜的干法刻蚀较为困难，因此该工艺对铜制程极为重要。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 |
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