出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
| 字词 | 多孔超低介电常数材料 |
| 释义 | 多孔超低介电常数材料 多孔超低介电常数材料 一种含有空气隙的介质材料。内部含有许多微小孔洞，因此其介电常数可大大降低。通常采用甩胶技术或化学气相沉积技术制备。沉积出的薄膜具有双相结构，其中一相形成基质，另一相可通过溶解或加热处理工艺被去除，产生自由空间（空气隙），从而将空气隙引入基质形成多孔介质。用这种材料代替二氧化硅作金属线间和层间介质，可降低互连延迟、串扰和能耗。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术 |
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